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我科学家另辟蹊径造出9纳米光刻试验样机,经济

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我科学家另辟蹊径造出9纳米光刻试验样机,经济

为深入学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想,进一步贯彻落实全国总工会关于开展金沙江流域水电工程劳动竞赛的总体要求、推进白鹤滩精品工程建设,4月29日,金沙江劳动竞赛暨白鹤滩精品工程推进会在哈电集团电机公司召开。会议进一步学习传达了金沙江流域水电工程劳动竞赛2019年工作会议精神,总结部署了金沙江流域水电工程劳动竞赛白鹤滩项目的主要工作。

4月12日,全国政协常委、经济委员会副主任于广洲率全国政协经济委员会调研组一行莅临中控,就发展智能制造,推动互联网、大数据、人工智能和制造业深度融合的基本情况进行调研。全国政协经济委员会领导候建民、房爱卿、黄丹华等参加调研,浙江省政协副主席陈铁雄、浙江省政协经济委员会主任黄勇等陪同调研。浙江中控技术股份有限公司贾勋慧、莫威热情接待。

电工电气网】讯

中国能源化学地质工会全国委员会主席张波,黑龙江省总工会党组成员孙永成,中国长江三峡集团有限公司工会副主席裴成新,三峡机电工程技术有限公司党委书记、董事长张成平,哈电集团工会工委副主任沈朝辉以及哈电电机有关负责同志出席会议。

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记者从武汉光电国家研究中心获悉,该中心甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制,采用远场光学的办法,光刻出最小9纳米线宽的线段,实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。

张波回顾了全国总工会多年来组织劳动攻关竞赛取得的成绩,强调了金沙江流域水电工程劳动竞赛的重要意义,对中国三峡和哈电集团作为中央企业,助推中国水电事业实现一次又一次历史跨越,攻克我国电力装备研制难题、实现“台台精品、件件一流”的担当作为,给予了高度评价。

光刻机是集成电·生产制造过程中的关键设备,主流深紫外和极紫外光刻机主要由荷兰ASML公司¢断生产,属于国内集成电·制造业的“卡脖子”技术。2009年甘棕松团队遵循诺贝尔化学奖得主德国科学家斯特凡·W·赫尔的超分辨荧光成像的基本原理,在û有任何可借鉴的技术情况下,开拓了一条光制造新的·径。

张波强调,要以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,把金沙江流域劳动竞赛不断引向深入。各级工会组织要牢记习近平总书记“大国重器必须掌握在自己手里”的嘱托,进一步强化使命担当,凝聚最广泛力量,把劳模精神、劳动精神、工匠精神贯穿到金沙江劳动竞赛全过程,把劳动竞赛落到实处,用精品工程彰显新时代水电人的新风采、新形象、新作为。

双光束超衍射极限光刻技术完全不同于目前主流集成电·光刻机不断降低光刻波长,从193纳米波长的深紫外过渡到13.5纳米波长的极紫外的技术·线。甘棕松团队利用光刻胶材料对不同波长光束能够产生不同的光化学反应,经过精心的设计,让自主研发的光刻胶能够在第一个波长的激光光束下产生固化,在第二个波长的激光光束下破坏固化;将第二束光调制成中心光强为零的空心光与第一束光形成一个重合的光斑,同时作用于光刻胶,于是只有第二束光中心空心部分的光刻胶最终被固化,从而远场突破衍射极限。

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